RVG高压差罗茨泵主要是由泵头、电机、列管式换热器组成，由于其独特的结构设计，可以允许它在高压差环境下稳定运行。

运行原理如右图，两个三叶转子沿相反方向运转，通过两个三叶转子的旋转吸入介质气体，对其进行压缩并将其输送列管式换热器，经由列管式换热器冷却后排至下一级真空泵入口或直排大气，其中部分冷却后的介质气体回流到泵体的排气侧，去直接冷却其中的两个三叶转子，降低在高压差环境下产生的温度，并且控制在一定范围内，确保罗茨泵稳定运行。